故障一：新仪器电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的start状态不对有时变为黄色不动，有时虽然动但是变为红色， 处理办法：此为通讯线接触---，重新连接即可。
故障二：排气不畅故障，气排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，气过滤器入口端有异物。 处理办法：换排气管，要换透明的塑料管，并定期对排气管路进行吹扫。
故障三：温度偏高故障 处理办法：检查仪器后盖风扇是否转动，火花直读光谱仪，转动是否灵活。
故障四：真空泵不自动启动故障， 处理办法：先看泵油温度是否较低，重新断电后，手动启动真空泵，有时需停顿一下，再试。
故障五：p、s稳定性不好，检查真空泵是否被误关掉，真空光路镜片是否需要清洗，一个维护不好的光路会导致错误的重现性和分析结果。 处理办法：检查真空泵及清洗镜片。
故障六：真空值下降快故障 处理办法：看真空值曲线是否平缓，否则，直读光谱仪，有漏气的地方，检查真空室真空盖密封性，换密封圈或对角紧固螺丝。
故障七：光强值下降原因分析：
1、透镜脏
2、入射狭缝污染
3、光纤老化处理办法：擦拭透镜，清理狭缝，换光纤。 经验总结：光谱仪用久了，激发台会因点打的太多了，出现放电漏气现象，导致光强上不去，需要经常清理激发台板及火花室。
故障八：数据不稳定 处理方法：清洗镜片后重新做标准化，仪器镜片的污染会导致数据测试的结果不稳定，长时间没有做仪器的曲线校准也会导致数据测试稳定性不好。
1、气的电离电位较低，作为工作气可降低分析间隙的击穿电压。在1个---压下，均匀电场中空气气氛中的分析间隙击穿电压为3000v/mm，式直读光谱仪，气气氛中为1000v/mm，击穿电压越低有利于获得较稳定的特征光谱强度。
2、气是原子状态的气体，而空气（氮、氧）是分子状态；它们经激发后，原子所产生的激发光谱比空气（氮、氧）的激发光谱（分子光谱带）的光谱要简单，其连续背景要低很多。
3、气作为保护气，在激发过程中，不会与样品金属蒸气形成其他化合物，可防止分析样品和电极被空气氧化、氮化或膨胀。空气是由氮气和氧气组成，在高温下，分析样品和电极可被氧化生成氧化物，或者氮化生成氮化物，而氧化物和氮化物不具有导电性，可导致分析样品激发停止，中断工作。气是惰性气体，在高温下不和任何金属发生反应，它的使用将有效杜绝金属的氧化和氮化。
4、气可以传输真空紫外光谱（200nm以下），可杜绝紫外区的特征光谱被吸收。吹的主要作用是试样激发时赶走火花室内的空气，减小空气对紫外光区谱线的吸收。主要是因为空气中的氧气、水蒸气在远紫外区具有---的吸收带，对分析结果造成很大的影响，且不利于激发稳定，形成或加强扩散放电，激发时产生白点。
5、气可带走样品激发时产生的热量和粉尘并消除记忆效应，并净化了分析环境。在高压气体气氛中的气体具有流动性，光谱仪直读，气体的流动不但可以带走多余的热量，还可以带走大量的粉尘。而温度太高可使样品或电极发生膨胀导致分析间歇的极距发生变化；粉尘的存在可使分析过程具有记忆效应或者影响光谱光路，不管是那种情况，都会影响分析结果的准确度。
目前常用的光源有以下两种：一类是---光源包括电弧及火花光源，其中以高压控波光源、低压火花高速光源和高能预火花光源在冶金分析中得到广泛应用，一类是等离子体光源居多，在不同领域中得到普遍采用。
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